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真空镀膜


真空镀膜工作原理是膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽,结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射,结合差,工效低,光泽差。现在加上中频磁控溅射靶,用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材,溅射出大量的靶材原子,呈中性的靶原子(或分子)沉积在基片上成膜,解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种,如镀钛镀锆等等。

中频设备必须加冷却水,原因是它的频率高,电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应,电荷会聚集在电导体表面,这样使电导发热,所以采用中孔管做导体中间加水冷却。磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形,所以它有一个水套来冷却射枪。同时磁控溅射可以被认为是镀膜技术中最突出的成就之一,它溅射率高、基片温升低、膜-基结合力好。

冷水机是一种水冷却设备,能提供恒温、恒流、恒压的冷却水。其工作原理是先向机内水箱注入一定量的水,通过制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备,冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,达到冷却的作用。冷却水温可根据要求自动调节,长期使用可节约用水。

冷水机能控制真空镀膜机的温度,以保证镀件的高质量。如果不配冷水机就不能使真空镀膜机达到高精度、高效率控制温度的目的,因为自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,此方式控制是极不稳定的。

冷水机具有完全独立的制冷系统,基本不会受气温及环境的影响,水温在5℃~30℃范围内调节控制,因而可以达到高精度、高效率控制温度的目的。